1、X\Y\Z 三轴鼠标及软件自动控制

2、范围 70×70mm*50mm 

3、速度 120 mm/s重复定位精度高达±1.0um

高精度三轴电动扫描平台搭载高清显微镜及NSYQ自主研发的清洁度检测图像分析系统中高精度自动对焦功能，可对滤膜进行一键自动对焦，减少人为对焦误差，使图像更清晰，扫描更精准，NSYQ自主研发的智能化的清洁度分析软件自动拍照、自动对焦、自动控制扫描、自动识别分析，确保颗粒数量及属性不被漏判和误判,让检测效率更高；

全自动的检测分析过程自动扫描整个试样（如滤膜）、自动拍照，颗粒自动识别、统计、分析，自动检测清洁度、自动生成相应标准专业分析报告及自定义报告；